P-733.3 XYZ壓電陶瓷納米定位器，具有孔徑的高精度XYZ掃描儀

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具有孔徑的高精度XYZ掃描儀

X和Y向上的行程達100微米 × 100微米，Z向上的行程達10微米

帶直接驅動器的高速版本

并聯運動實現更高精度和動態

零間隙，高精度柔性鉸鏈導向系統

電容式傳感器使分辨率達0.1納米

超高真空兼容和非磁性版本

導向誤差主動補償的并行計量

50毫米×50毫米的通光孔徑用于透射光應用

應用領域

·         掃描顯微鏡

·         共聚焦顯微鏡

·         掩模/晶圓定位

·         表面測量技術

·         納米壓印

·         顯微操縱

·         圖像處理/穩定

·         高運動平面度和直線度的納米定位

帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、長期穩定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。

適用于復雜真空應用

壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可實現極低的排氣率。

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

專利的PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統的聚合物絕緣促動器長達十倍。它們被證明可實現無故障運行1000億個循環。

零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度

柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。它們百分百真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。

并聯位置測量實現納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動導向）。即使在動態操作中，跟蹤精度也可高達納米級。

訂購信息

直驅版本

P-733.3DD

高動態，高精度XYZ納米定位系統，30 µm×30 µm×10 µm，直接驅動，電容傳感器，并聯

計量，D-sub連接器

帶有D-sub連接器的版本（m）

P-733.3CD

精密XYZ納米定位系統，100 µm×100 µm×10 µm，電容傳感器，并行計量，D-sub連接器

帶有LEMO連接器的版本

P-733.3CL

精密XYZ納米定位系統，100 µm×100 µm×10 µm，電容傳感器，并行計量，LEMO連接器

真空兼容版本達10-6 hPa

P-733.3VD

精密XYZ納米定位系統，100 µm×100 µm×10 µm，電容傳感器，并行計量，D-sub連接器，

真空兼容10-6 hPa