SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥

SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥

POLOS 200 高級單基板旋轉處理器，臺面模型桌面版，自動化學品分配，重型電機。它支持多種流體，

這要歸功于天然聚丙烯和聚四氟乙烯的全塑料外殼。電機模式旋轉的控制，

結合POLOS Advanced系統中多達6個自動點膠機，可實現多層薄膜的均勻沉積和光刻膠顯影。

這些功能通過全自動配方和高可重復性實現快速工藝優化。

適用于涂布、清洗、漂洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI等工藝

特性

自動化學品分配

重型電機

支持多種流體

多達 6 個自動分配器

特點

高達 260 mm 的圓形或 6“ x 6” 方形基板

材料：天然聚丙烯（高級NPP，工具體和所有接液表面）或PTFE

帶注射器支架的透明蓋，用于集中點膠

CW 和 CCW 水坑旋轉

（可拆卸）帶有可定制圖標的彩色觸摸屏

手套友好，IP52，耐化學腐蝕

無限程序存儲，用于每個步驟的食譜

USB端口

標準 1“ 排水連接

與我們的藍寶石MegPie兆聲波換能器兼容

我們還為該系列提供可選的背面沖洗蓋和氣動蓋、真空泵、分散容器和噴射噴射器！

包括

3 個可編程干式繼電器，標稱開關容量 0.5A / 125 VAC - 0.3A / 60DC

1 件式真空吸盤 A-V36-S45-NPP，適用于直徑達 Ø 150mm 的基板和 1 件式碎片適配器 D-V10-S50-NPP

型號

POLOS 200

POLOS 300

POLOS 450

POLOS SPIN150i

POLOS SPIN200i

SPS旋涂儀 POLOS 200用于涂布清洗漂洗/干燥