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    品牌SPS 有效期至長期有效 最后更新2024-01-18 18:02
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    SPS旋涂儀POLOS ? SPIN150x多功能2024全新上市

    SPS旋涂儀POLOS ® SPIN150x多功能2024全新上市
    POLOS ® SPIN150x 是一種多功能、高質量的基底
    旋涂機,由 NPP 制成。它專為研發和小批量生產
    而設計。臺式型號可手動或自動(可選)分配化學
    品。
    腔體規格
    外殼材質
    天然聚丙烯(NPP)
    最大底物直徑
    最大可用 6” (150 mm) 晶圓
    最大可用 4” x 4” (100 mm) 底物
    我們的新 POLOS ® SPIN150 X 將于2024NEW 年開始供應
    適用范圍:
    • 涂層
    • 清洗沖洗/烘干
    • 顯影
    • 刻蝕
    • PDMI
    • 其他程序.
    硬件規格:
    液體過濾疏水閥
    IMG_20230410_162228(1)
    • 獨特的外殼和排水管設計,可切換桌面和Indeck模式
    用于注射器或噴嘴的中心注射支架
    • 蓋鎖和真空傳感器確保用戶安全
    • 大尺寸觸摸顯示屏(可拆卸)
    • USB 端口,用于在 USB 驅動器上存儲配方和進行軟件
    更新
    驅動裝置規格:
    • 間接無刷驅動裝置
    • 轉速高達 12.000 RPM(取決于底物/卡盤)
    • 高加速度、高精度
    • 加速/減速 1-30.000 RPM
    • 順時針、逆時針旋轉和漩渦選項
    SPS旋涂儀POLOS ® SPIN150x多功能2024全新上市
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