PI電容傳感器德國Physik Instrumente

電容（電容式）位移傳感器是測量、高動態納米計量器件，可提供高的線性度和精度。PI電容傳感器/信號調理器電子元件利用高頻交流激勵信號來增強帶寬和無漂移測量穩定性（可以在幾個小時內實現亞納米級穩定性）。為了提供精度等級更高、分辨率優于一納米的納米定位系統，PI開始開發電容式位置傳感器件。從那時起，已經制造了數千個單探頭和雙探頭傳感器和控制器，用于PI的閉環壓電定位平臺和各種定制納米精密測量應用。

PI 優勢：

·         提供單板和雙板傳感器，具有更大的靈活性

·         測量帶寬高達 10kHz

·         亞納米級分辨率

·         提供定制多傳感器電子設備（模擬和數字）

·         提供閉環運動控制器

·         定制納米精密定位系統，帶集成電容式傳感器

電容式測距原理

兩種類型的電容式距離傳感器很常見：單電極傳感器和兩電極傳感器。

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雙電極傳感器可以實現更低的噪聲水平和更高的分辨率。其原理基于兩個導電表面和高頻（>100kHz）交流電，在它們之間產生均勻的電場。電容與有效表面除以距離成正比。對于給定區域，測量的距離與距離成正比。單電極電容式傳感器的工作原理類似。它們更易于處理，并且可以針對各種導電表面進行測量。