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    PI N-765 精密Z向位移臺

        

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    品牌PI 有效期至長期有效 最后更新2020-07-04 09:13
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    PI N-765 精密Z向位移臺

    高軻
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    電話:010-64717020-172
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    郵件:sales62@handelsen.cn
    高軻郵箱:sales62@handelsen.cn電話:010-64717020-172
     應用領域
    樣本操縱、樣本定位、高精度和高穩定性光學或機械部件、半導體行業中的精密機械部件、顯微操縱、顯微鏡、自動化、有限空間內的應用、真空或無磁性環境中的應用。
    Ordering Information 
    N-765.060 Precision Z stage, 6.5 mm travel range, PIOne linear encoder, 0.5 nm resolution, 25 N push/pull force, dimensions 65 × 110 × 56 mm (W × L × H), NEXACT® piezoelectric walking drive
    采用PIOne增量編碼器實現直接測量,分辨率為0.5納米
    最小位移達1納米
    行程為6.5毫米
    負載能力達25牛
    可以直接安裝在N-565線性定位器上
    采用PIOne增量編碼器實現直接測量,分辨率為0.5納米
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    帶PIOne線性編碼器用于直接位置測量
    高分辨率PIOne編碼器由PI研發,在對測量數據進行相應處理后,可實現遠低于1納米的位置分辨率。光學非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。其以極高的精度直接在運動平臺上進行實際位置測量,因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。由于信號周期僅為0.5微米,信號質量高,PIOne編碼器的線性誤差小于1%。PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。
    交叉滾子軸承
    利用交叉滾柱軸承,滾珠軸承中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此,它們的剛度明顯提高,需要的預載更小,這減少了摩擦并實現了更平滑的運行。交叉滾柱軸承的另一個特征是高導向精度和負載能力。滾動主體架的受迫導向防止滾柱軸承發生蠕變。
    有效專利
    在壓電陶瓷步進驅動器(NEXACT®和NEXLINE®)技術領域,PI擁有以下專利或專利申請:
    DE10148267B4,EP1267478B1,EP2209202B1,EP2209203B1,US6800984B2,DE4408618B4
     

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