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這些緊湊型定位系統可沿X和Y方向工作，其行程為100至300毫米，速度可達500毫米/秒，并且能夠以高重復精度定位（單向重復精度可達0.05微米）。集成的高分辨率線性編碼器直接在平臺上測量位置；因此，非線性效應、機械游隙或彈性變形不會對位置測量造成任何影響。此外，具有平坦輪廓的平面設計很大程度地減少了堆疊誤差并提高了剛度。100毫米的變型（圖）在中心同樣具有大孔徑，因此可以從上方或下方接近樣本或工件。
XY位移平臺由PI控制器或基于EtherCAT的ACS控制模塊控制，該模塊還提供基于事件的觸發，以控制與運動模式相關的激光或測量工具。
選擇適應不同要求的電機
線性電機直接驅動（V-731、V-738和V-741）或步進和直流電機（L-731、L-738和L-741）是XY位移平臺的原動力。三相磁性線性電機省去了動力傳動系統中的機械組件，并將驅動力直接傳輸到運動平臺且不會產生任何摩擦。這意味著可以實現高達500毫米/秒的速度。無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務，因為其不會與永久性磁鐵發生不良作用。這么一來，即使在最低的速度下也能保持平穩的運行，且在高速狀態下也不會產生振動。
L-731、L-738和L-741 XY位移平臺的工作速度可達90毫米/秒?？梢允褂貌竭M電機或直流電機驅動精密滾珠絲杠。兩相步進電機在較低的速度下也會產生高扭矩；對于要求高運行平穩性和較高速度的應用，建議使用直流電機變型。
PI簡介
PI (Physik Instrumente)是全球精密定位技術市場的佼佼者，多年來以其優質產品而聞名。 在使用壓電或電機驅動器的標準及OEM產品的開發和制造方面，PI擁有40年的歷史。ACS是多軸高精度驅動器系統用模塊化運動控制器的開發商和制造商，通過收購其大多數股份，PI在為要求高精度和動態的工業應用提供整套系統的方面又向前邁進了重要一步。PI集團分布全球，除了在德國設有四個基地之外，在其他國家和地區還設立了總共十五個銷售和服務分部。
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